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79XX Duo 系列下三款机型7900,7920,7930。7900用于8寸硅晶圆以及砷化镓晶圆切割应用,7920用于多基板、玻璃、saw device切割应用,7930用于多块大基板以及高效UPH需求的切割应用。
· 方盘种类可选择 8″×8″、10″×10″、12″×10″
· 整机核心部件自主可控,不受全球经济政治变化影响
· 空气主轴承诺免费质保5年,软件功能开发终身免费
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021-5093929379XX Duo 系列下三款机型7900,7920,7930。
7900用于8寸硅晶圆以及砷化镓晶圆切割应用;
7920用于多基板、玻璃、saw device切割应用;
7930用于多块大基板以及高效UPH需求的切割应用。
7900 |
7920 |
7930 |
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工件尺寸 |
∅8″ |
10″×10″ |
12”×10″ |
主轴 |
两个对向主轴 1.8kW或2.2kW;最高转速60,000 rpm |
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刀片尺寸 |
2″~3″ |
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尺寸 |
1015 × 1460 ×1820 (mm) |
875 × 975 × 1450 (mm) |
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重量 |
1300 kg |
900 kg |
Y 1 / Y 2轴 |
控制器 |
线性编码器/Y轴 |
分辨率 |
0.1 μm |
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累积精度 |
1.5 μm |
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步进精度 |
1.0 μm |
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Z 1 / Z 2轴 |
分辨率 |
0.2 μm |
重复精度 |
1.0 μm |
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最大行程 |
30 mm(2.188″刀片外径) |
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X轴 |
气动滑块 |
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θ轴 |
重复精度 |
4 arc-sec |
行程 |
380° |
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电气 |
200-240VAC,50-60Hz,单相 |