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8030是一款高精度、高性能的双轴(对向式分布)12英寸全自动划片机,结合全新设计的操作系统,提供高效,低使用成本的切割体验。
· 设备功能全新升级,品质、效率、操作体验口碑极佳
· 半导体TOP10封测厂晶圆划片机国产替代首选机型
· 整机核心部件自主可控,不受全球经济政治变化影响
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021-509392938030划片机主要用于12寸硅晶圆切割,兼容6寸与8寸晶圆,并且可对应多片大尺寸QFN。
工件尺寸 | ∅8″,∅12”或12″x12″方形 | |
主轴 | 两个对向主轴(可选2,2kW)最高60000转 | |
刀片尺寸 | 2″~3″ | |
Y 1 / Y 2轴 | 控制器 | 线性编码器/Y轴 |
分辨率 | 0.1 μm | |
累积精度 | 1.5 μm | |
步进精度 | 1.0 μm | |
切割范围 | 350 mm | |
X轴 | 气动滑块 | |
Z 1 / Z 2轴 | 分辨率 | 0.2 μm |
重复精度 | 1.0 μm | |
最大行程 | 50 mm (2.188″刀片外径) | |
θ轴 | 重复精度 | 4 arc-sec |
行程 | 380° | |
清洁台 | 完全冲洗和干燥循环 | |
旋转速度 | 100~3,000 rpm | |
清洁方法 | 二流体清洁功能 | |
电气 | 200-240VAC,50-60Hz,单相电 | |
尺寸 | 1145 × 1687×1830(mm) | |
重量 | 1500 kg |